반도체 탄화규소에 미량 첨가된 질소 도펀트의 격자위치를 결정 작성 : 관리자 조회 : 755 등록일: 2012-12-10 관련링크 본문 - 초전도체에서 밝혀진 반도체 SiC의 나노세공구조 ?독립행정법인 산업기술종합연구소 계측프론티어연구부문 연구팀은 대학공동이용기관법인 고에너지가속기연구기구의 물질구조과학연구소, 주식회사 이온테크노센터와 공동으로 초전도 검출기를 탑재한 X선 흡수 미세구조 분광장치(SC-XAFS)를 개발하여 와이드캡 반도체인 탄화규소의 기능 발현에 필요한 이온주입된 질소 도펀트(미량 불순물 원자)의 미세구조 해석에 성공하였다. <<클릭 출처 : KISTI 미리안 글로벌동향브리핑 목록
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